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陶瓷靶材背靶脱落原因及使用的注意事项
一、什么是靶材绑定?靶材绑定的适用范围、流程?
    1.溅射温度高,无氧铜易被氧化和发生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,造成背靶脱落;
    2.电流太大,导热太快造成温度过高,焊料熔化,造成焊料不均匀,脱落;
    3.循环冷却水出水口的温度应低于35度,循环水温度高,造成散热不好而脱落;
    4.绑定的气含量;
    5.靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。
二、防止背靶脱落的注意事项
    1.溅射温度不宜太高;
    2.电流要缓慢加大;
    3.循环水应低于35°;
    4.适宜的靶材致密度。