磁控溅射不起辉的现象、原因及对策

一、磁控溅射不起辉的现象：
     直流磁控溅射金属靶时，无法起辉，而且调节溅射电压时，电压不变，电流却急剧增大。
二、磁控溅射不起辉的主要原因及对策有：
 1、靶材安装准确否？
 2、靶材表面是否干净
      金属靶表面氧化或有不清洁物质，打磨清理干净后即可。
 3、起辉电源是否正常
      检查靶电源。
 4、靶与地线之间短路
      关掉机器，把设备的溅射靶卸下来，靶附近的零件仔细清洗一下；
      压靶盖旋的过紧，没有和靶材之间留下适当的距离，调整距离即可。
 5、永磁靶表面场强是否下降太多？
      如果下降太多（一般待靶材测量，表面场强应大于300高斯），需要更换磁钢。
 6、起辉溅射真空度与前次的差别？
      更换不同的靶材，起辉压强不尽相同。换靶材后需要重新调功率匹配器的，只有功率匹配调好了才能正常起辉。