靶材的分类
一、根据材质不同可分为:
金属靶材,陶瓷(氧化物、氮化物等)靶材,合金靶材。
二、根据不同应用方向可分为:
1、半导体关联靶材:
电极、布线薄膜:铝靶材,铜靶材,金靶材,银靶材,钯靶材,铂靶材,铝硅合金靶材,铝硅铜合金靶材等。
储存器电极薄膜:钼靶材,钨靶材,钛靶材等。
粘附薄膜:钨靶材,钛靶材等。
电容器绝缘膜薄膜:锆钛酸铅靶材等。
2、磁记录靶材:
垂直磁记录薄膜:钴铬合金靶材等。
硬盘用薄膜:钴铬钽合金靶材,钴铬铂合金靶材,钴铬钽铂合金靶材等。
薄膜磁头:钴钽铬合金靶材,钴铬锆合金靶材等。
人工晶体薄膜:钴铂合金靶材,钴钯合金靶材等。
3、光记录靶材:
相变光盘记录薄膜:硒化碲靶材,硒化锑靶材,锗锑碲合金靶材,锗碲合金靶材等。
磁光盘记录薄膜:镝铁钴合金靶材,铽镝铁合金靶材,铽铁钴合金靶材,氧化铝靶材,氧化镁靶材,氮化硅靶材等。
光盘反射薄膜:铝靶材,铝钛合金靶材,铝铬合金靶材,金靶材,金合金靶材等。
光盘保护薄膜:氮化硅靶材,氧化硅靶材,硫化锌靶材等。
4、显示靶材:
透明导电薄膜:氧化铟锡靶材,氧化锌铝靶材等。
电极布线薄膜:钼靶材,钨靶材,钛靶材,钽靶材,铬靶材,铝靶材,铝钛合金靶材,铝钽合金靶材等。
电致发光薄膜:硫化锌掺锰靶材,硫化锌掺铽靶材,硫化钙掺铕靶材,氧化钇靶材,氧化钽靶材,钛酸钡靶材等。
5、其他应用靶材:
装饰薄膜:钛靶材,锆靶材,铬靶材,钛铝合金靶材,不锈钢靶材等。
低电阻薄膜:镍铬合金靶材,镍铬硅合金靶材,镍铬铝合金靶材,镍铜合金靶材等。
超导薄膜:钇钡铜氧靶材,铋锶钙铜氧靶材等。
工具镀薄膜:氮化物靶材,碳化物靶材,硼化物靶材,铬靶材,钛靶材,钛铝合金靶材,锆靶材,石墨靶材等。
三、根据形状分为:
平面靶材和管状靶材,其中平面靶材又可以分为矩形靶和圆靶。
我公司生产的常规圆形靶材直径25-250mm;矩形靶材最长1500mm,其他参数可根据用户的要求进行加工。